SEKIDENKO OR4000T 光纤测温仪和 OR4000E 辐射率补偿光纤测温仪

Advanced Energy 的 OR4000 多通道光纤测温仪 (OFT) 基于非常成功的 OR2000 产品系列开发，为众多温度测量应用提供了业界良好的非接触性温度测量。 OR4000T 向要求苛刻的温度测量应用提供多通道功能和高达 2 kHz 的读取速率。 OR4000E 还增添了实时辐射率补偿功能。 该仪器采用模块化设计，能够快速调整以满足各个工艺应用的特要求。

提高温度测量的精度测量
Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多通道光纤测温仪 (OFT) 以一个紧凑的模块化平台提供精确的非接触式温度和辐射率测量，旨在满足各个特应用的需求。 AE 的 光纤测温仪 非常适合在控制严格的应用中测量温度，这类应用需要保证一致且可重复的温度读数以确保工艺成功。
根据应用可选择工艺设备有：
› OR4000T 用于快速热处理 (RTP)、激光退火、高密度电浆化学气相沉积(HDP-CVD)、金属**化学气相沉积
(MOCVD)、原子层沉积 (ALD)、紫外线硬化、太阳能电池封装和硬盘 (HDD) 处理。
› OR4000E 用于外延 (Epi)、化学气相沉积 (CVD)、金属**化学气相沉积 (MOCVD)以及衬底发射率发生变化的其他工艺。
增强重复性并尽量减少偏差
传统的热电偶测量方案不适合许多应用领域，由于热传递效应，与基底进行物理接触会造成损害并导致读数不精确。 OR4000T 和 OR4000E 在原位测量直接目标的温度，与被测量的物体不接触，可以增强点到点均匀性并提高温度读数的精确度。 
每个 OFT 系统都由一个控制器、一个光学传感器和多条光缆组成。 传感器探测目标（一般是衬底）释放出的近红外线 (NIR)。 之后光纤将近红外线光从传感器传输到控制器，传感器将采集的光转换成温度读数。 使用光纤可以对控制器进行远程，使之处于一个远离工艺腔室的可控环境中。
每个传感器都经过定制设计，以满足每个特应用的功能和机械要求。 结果实现： 可靠测量、高重复性和高 
良品率。  
提高生产率、产额和产量
OR4000T 和 OR4000E 都提供了高速性能，读取速率高达 2 kHz，可以精确跟踪快速的温度变化。  在动态应用中，这可以实现闭环温度控制并优化工艺良品率。
提高多种腔室和基底材料的稳定性及可靠性
OR4000T 型号提供多通道温度测量，多可利用四个针对特定运行要求定制的立运行通道。 该功能可以在多个腔室中实现一致的综合测量。
OR4000E 提供双通道能力，其实时辐射率监控功能可以在薄膜生长应用中提供精确、可重复的温度测量。 利用这种能力的典型工艺是化学气相沉积 (CVD) 工艺和热退火工艺，两种工艺都存在重大材料变化。 OR4000E 同时测量辐射率和温度，方法是对基底施加入射辐射并确定其反射率，然后在辐射源撤掉后测量目标施放出的辐射能量。 结果实现： 精确、可重复的实时温度测量，不必考虑基底辐射率的变化。